随着经济的发展，光学平板的使用越来越多，从紫外到近红外，sfs的温度稳定性，耐热性都---。 准分子激光用sfs，用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于---膜的，提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光，通常用作透射元件，如分光镜或窗口，或用作全反射器或光学测量的参考面。bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外，sfs 具有---的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf （248nm）的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。

光学平板在---的科学实验中，也是为严谨的科学实验做出了---地贡献。下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。

 光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光，它通常作为分光镜或窗口等透过型元件，或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。

 一般分为三种材料类型的光学平板：bk7,sfs 和准分子激光用 sfs。其中大部分产品有各种指标的组合：形状(圆形或方形)，面精度(λ，λ/4，λ/10，λ/20)，多种厚度和平行度。bk7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外，sfs的温度稳定性，耐热性都---。准分子激光用sfs，用于高功率的准分子激光 krf(248nm)时，具有低萤光特性。去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹)，对于---膜的，提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料，温度和研磨过程，减少次表面缺陷。

用牛顿环检验一般会有样板，如果是检验光学平板平整度，用的样板就是平面样板。有生产厂家专门做这个的。   检验方法：先将样板标准面和待检验平板表面擦静，然后使这两个面紧---触，并尽量排除两接触面之间的空气，然后从样板上方观察会发现彩色的光圈环带。图纸上应该有要求你做到几个光圈和几道局部光圈，然后就可以知道哪个地方高了哪个地方低了。    除用样板以外，干涉仪也通常用来检测光学零件表面的精度

这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到---的要求,所以只适用于般精度平板的加工。

随着---、---规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。