光学平台使用时请勿用酸性液体清洗本产品,以免破坏产品表面,请勿将本产品放置在高温、潮湿及高强度振源处,请勿用水冲洗本产品,气浮隔振平台,本产品长时间处于一种状态下,请用水平仪调整台面水平,工作台面上搁置的任何设备或工具,都必须小心轻放,尽量不要相对磨擦,以避免损伤工作台面,降低使用精度。工作台面安装孔,是用于固定设备的m6螺孔,使用时避免用力过大,影响工作台精度。
光学平台采用表面铁磁不锈钢,芯部蜂窝结构支撑的结构。这种结构,不但充分的发挥了铁磁不锈钢材料刚性好,温度膨胀系数小,耐腐蚀的优点,而且提高了平台的硬重比,增加了刚性,降低了变形量,提高了抗静力矩能力。而且铁磁不锈钢耐腐蚀,能吸附磁性底座,可以方便的搭建各种光学系统。适用于承载较大,对抗振性要求较高的系统。
随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源,主要集中在10~100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
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