光学平台的结构
光学隔振平台外框采用刚性强,变形小,焊接性能好的---中碳钢板;隔振层利用固有频率低,阻振性能强的蜂窝结构材料,能z大限度控制振动的响应。面板采用高导磁不锈钢板,精磨后具有实用、美观和耐磨等特点。粗糙度0.8~1.6μm,平面度0.05~0.10mm/cm2。
(1)隔振基础部分可根据具体要求。
(2)调节支撑部分:采用耐磨丝杆和平面推力球轴承,使用时轻松---。
(3)自动平衡系统:采用空气伺服系统,自动调整水平。它的---特点是把系统对微振的响应反馈到系统中,改变隔振特性,提高隔振效果,在超载偏重的实验条件下瞬间达到初始的平衡状态。
随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多,比如地面的自振,光学平台支架,各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源,主要集中在10~100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
平台用仪器支架是光学平台应用的延伸,独立放置,可放置示波器、各种控制器、适配器电脑等,不仅可以充分利用光学平台上方的空间,且操作各类仪器时不影响平台的的稳定性。
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