在选择电动平移台时,首先要确信的是需要手动调节还是电机控制,然后依次确信位移行程,负载大小,位移精度,光学平台仪器,分辨率,希望的外形尺寸,光学平台规格,是否定量。通常来说,手动平移台体积较小,但行程也小,负载轻,价格便宜,---是不用定量调节时,选用0.25mm螺距的细牙螺杆调节,成本---。 能够将电机的旋转运动定量转换成直线运动,其能量转换速度高可达到70%(滚珠丝杠)。这项指标直接提高了电动平移台的负载能力。
电动平移台系统基本由三部分组成:位移台;驱动电机;控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩,分辨率,加速度,信号处理,使用功能(如扫描,圆弧插补)等性能参数。电动平移台则是系统的---,主要技术指标如位移精度,行程,负载,稳定性,适用环境,外形长度大小均由其决定。电动平移台根据外形长度大小,行程,旋转角度,导轨形式,驱动方式等又分为多种系列,并且可以任意组合,可满足空间长度大小,承载大小,可调整的自由度数量,手动自动等需求。
随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源,主要集中在10~100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
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