阻尼隔振平台-志城精研

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    2022-7-13

刘经理
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随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,阻尼隔振平台,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源,主要集中在10~100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。



使用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力,并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。

探测器发出的信号通过分析仪进行读取,并用于产生频率响应谱(即柔量曲线)。在光学平台的研发过程中,对平台表面上很多点的柔量曲线进行记录;但是,平台四个角上的柔量往往都是---的。因此公司发布的柔量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得的,因此说明了z不理想情况下的数据结果。



电动平移台系统基本由三部分组成:位移台;驱动电机;控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩,分辨率,加速度,信号处理,使用功能(如扫描,圆弧插补)等性能参数。电动平移台则是系统的---,主要技术指标如位移精度,行程,负载,稳定性,适用环境,外形长度大小均由其决定。电动平移台根据外形长度大小,行程,旋转角度,导轨形式,驱动方式等又分为多种系列,并且可以任意组合,可满足空间长度大小,承载大小,可调整的自由度数量,手动自动等需求。



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