武汉光学平台仪器-志城精研科技

随着---的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

光学平台支架：

光学平台支架按其隔振形式主要分为:机械式隔振支架与气垫式隔振支架。

机械式隔振支架主要是利用各种隔振材料(如:减震弹簧、隔振橡胶等)将主动或被动震源尽量阻隔，使其尽可能少地传递到光学平台上。特点是造价相对便宜，使用和维护方便。缺点是只能用于环境震动相对较好的场合。

气垫式隔振支架是利用气垫的原理，将光学平台架在气垫上以达到隔振的效果。特点是:隔振效果好。但是造价较高，使用和维护繁琐。针对维护繁琐的情况又出现了自平衡(主动隔振)系统。原理是利用各种传感器提供的平台平衡状况，通过控制系统调节各个隔振支撑的气压来达到平衡的目的。