志城精研科技-武汉气浮隔振平台定制

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    2022-8-13

刘经理
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随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了---的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在---过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。



光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率,气浮隔振平台定制,从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下,具有较高硬重比的平台可以在较小的重量下产生比较小的变形,增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比,达到提高系统性能的目的。



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我国光学平台仪器的不断发展和功能的不断完善为现代光学平台仪器向更品质的智能发展创造了条件。未来10年,更多的新技术、新器件推广应用,因而在光机电仪一体化的基础上融入不同原理,派生出新用途的产品,以满足各领域日益增长的需求。具有优---能的光学平台器件和功能材料的开发和应用,将加速现代光学平台的不断发展,使光学平台设备领域发生重要变革,推动产品向小型化、高分辩、光电化和自动化发展。未来光学平台仪器发展方向将是简化设计,应用---隔度隔振,提高智能化和便于操作。



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