阻尼隔振平台-志城精研科技

随着---的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

需要---的是，阻尼隔振平台，安装工作需要由购买过相应保险的专员使用正确的工具来完成，决不能出现十几人抬起桌面让其他数人移动桌腿的情况。地动多发区的实验室设备选择更需要考虑建筑物的防震需求。

因此尽管当代的振动隔离系统已经---地提升了光电类应用的稳定性，它们并非能解决全部问题的灵丹妙药。光路稳定性是由整个振动传递“结构回路”决定的，包括支撑结构、光机械件、光学元件和运动控制系统。综合考虑振动环境、削减声音的影响、移除平台上和平台附近不---的振动来源、以及使用正确的隔振平台安装方法，都是提升隔振性能需要注意的事项。