随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了---的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在---过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
需要---的是,安装工作需要由购买过相应保险的专员使用正确的工具来完成,决不能出现十几人抬起桌面让其他数人移动桌腿的情况。地动多发区的实验室设备选择更需要考虑建筑物的防震需求。
因此尽管当代的振动隔离系统已经---地提升了光电类应用的稳定性,它们并非能解决全部问题的灵丹妙药。光路稳定性是由整个振动传递“结构回路”决定的,包括支撑结构、光机械件、光学元件和运动控制系统。综合考虑振动环境、削减声音的影响、移除平台上和平台附近不---的振动来源、以及使用正确的隔振平台安装方法,都是提升隔振性能需要注意的事项。
1、 马氏体不锈钢1cr13(410)基体为马氏体组织,有磁性,通过热处理可以调整其力学性能的不锈钢,通俗地说,是一类可硬化的不锈钢。马氏体的三维组织形态通常有片状或者板条状,但是在金相观察中通常表现为针状。高的强度和刚性是钢中马氏体的主要特征之一。焊接平台需要---的强度和刚性,所以选用马氏体不锈钢1cr13(410)。
2、铁素体不锈钢1cr17(430)基体为体心立方晶体结构的铁素体组织(α相)为主,有磁性,这类钢具导热系数大,膨胀系数小、防氧化性好、抗应力腐蚀优良等特点。但塑性差、焊后塑性和耐蚀性明显降低等缺点,科研级气浮隔振平台,因而---了它的应用。蜂窝平台不需要采用焊接工艺,且其强度和刚性主要靠内部紧密的蜂窝内芯提供,所以选用铁素体不锈钢1cr17(430)。
3、 奥氏体不锈钢0cr18ni9(304)基体为面心立方晶体结构的奥氏体组织(γ相)为主,无磁性,奥氏体不锈钢由于含铬镍较高,耐腐蚀和防氧化性能较好,高韧性和塑性,具有---的加工性和和可焊性。由于奥氏体不锈钢具有---的综合性能,在各行各业中获得了广泛的应用。无磁平台需要不导磁,所以选用奥氏体不锈钢0cr18ni9(304)。
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