上海光学平板-志城精研仪器-光学平板厂家

随着经济的发展，光学平板的使用越来越多，从紫外到近红外，sfs的温度稳定性，耐热性都---。 准分子激光用sfs，用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于---膜的，提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光，通常用作透射元件，上海光学平板，如分光镜或窗口，或用作全反射器或光学测量的参考面。bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外，精密光学平板定制，sfs 具有---的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf （248nm）的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。

这种双面加工，一般速度不高。下模比较大，上模比较小，挡圈直径比上模大，比下模小。适当地调节上模的摆动量，可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时，人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工，比单面加工提高了效率，但被加工的平面度和双面的平行度则达不到---的要求，所以只适用于般精度平板的加工。

随着---、---规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，国外出现了双面高速加工机床，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。