目前---一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术,但被动隔振技术对于隔离低频和---频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以不适合---、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。
光学平台广泛运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。 随着---的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,光学面包板厂家,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,精密光学平板厂家,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。
用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,长沙光学平板,在---过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,光学平板尺寸定制,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
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