精密光学平板-光学平板-志城精研公司

这种双面加工，一般速度不高。下模比较大，上模比较小，光学平板尺寸定制，挡圈直径比上模大，比下模小。适当地调节上模的摆动量，可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时，人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工，比单面加工提高了效率，但被加工的平面度和双面的平行度则达不到---的要求，所以只适用于般精度平板的加工。

随着---、---规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，国外出现了双面高速加工机床，光学平板，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。

光学平板在---的科学实验中，也是为严谨的科学实验做出了---地贡献。下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。

光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光，它通常作为分光镜或窗口等透过型元件，或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。

一般分为三种材料类型的光学平板：bk7，sfs 和准分子激光用 sfs。其中大部分产品有各种指标的组合：形状(圆形或方形)，面精度(λ，λ/4，λ/10，λ/20)，多种厚度和平行度。bk7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外，sfs的温度稳定性，耐热性都---。准分子激光用sfs，用于高功率的准分子激光 krf(248nm)时，具有低萤光特性。去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹)，对于---膜的，精密光学平板，提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料，温度和研磨过程，减少次表面缺陷。