光学面包板是一种蜂窝结构隔振平台台板,作为于光学实验、医学实验、---仪器生产检测、航天航空实验等的载体,因其具有高刚度低比率特点,能提高实验的精度、提供坚固安装平台的作用,其结构为蜂窝空心结构,包括上下面板、隔离杯和蜂窝状芯板;便于实验附件的固定安装,面板采用高导磁不锈钢,表面不生锈,---了实验室清洁度;隔离杯采用的是拉伸铝冲压成型,可防止噪音在内部产生震荡给实验造成误差,同时能防尘、防水、防止小物品坠落到平台内部,便于清理;内部蜂窝状芯板采用的是梯形薄钢板相互対粘中间并夹有钢板形成的像蜂巢形状的结构,精密光学平板,它能在降低芯板的情况下使刚度加强。
光学面包板采用铁磁不锈钢材质精加工而成,顶板上设有规则的间隔,内部采用三层夹心结构、上台面为不锈钢,内芯采用蜂窝状支撑结构,地面为碳钢,增加刚性,减少重量,光学面包板,抗振性好。表面粗糙度: 0.8-1.6um,光学平板定制,振幅: < 5μm,平面度: < 0.05mm/m2。
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这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到---的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着---、---规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。
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